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本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡工作距離與歷史

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-4-10 10:05:38

掃描電子顯微鏡工作距離與歷史

掃描電子顯微鏡工作距離指從物鏡到樣品最高點(diǎn)的垂直距離。增加距

離可以在條件不變的情況下獲得更大的場(chǎng)深。減少距離則可以在其不

變的情況下獲得更高的分辨率。

成象次級(jí)電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通

常使用次級(jí)電子。表面分析歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)

過程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān)，所以可以用于成分分析。但由于電子束

只能穿透樣品表面很淺的一層（，所以只能用于表面分析。

表面分析以特征射線常用到的探測(cè)器有兩種：能譜分析儀與波譜分析

儀。前者速度快精度不高，后者精確檢測(cè)到痕跡元素但耗時(shí)太長(zhǎng)。

1929 年諾貝爾物理獎(jiǎng)得主提出電子本身具有波動(dòng)的物理特性，進(jìn)一

步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。1926發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過玻璃透鏡

偏折一般，由電磁場(chǎng)的改變而偏折。

1931德國(guó)物理學(xué)家首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。1937原型機(jī)

制造成功。 1938 第一部掃描電子顯微鏡發(fā)展成功。1938穿透式電子

顯微鏡正式上市

1940推出美國(guó)第一部穿透式電子顯微鏡。1958年中國(guó)科學(xué)院組織研制

， 1975年第一臺(tái)掃描電子顯微鏡在中國(guó)科學(xué)院科研發(fā)成功。1980年

引進(jìn)美國(guó)技術(shù)，開發(fā)了掃描電鏡。